儀器規格 Specifications of instrument

 

熱場發射掃描式電子顯微鏡

Thermal Field-Emission Scanning Electron Microscopy (SEM)

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  • 電子槍:Schottky 熱場發射
  • 加速電壓:0.5 – 30 kV
  • 探測電流:10-12~2×10-7 A
  • 真空模式:高真空模式(< 2.8×10-4Pa)
  • 影像解析:1.2 nm(~650,000x)@ 30 kV;3.0nm@1kV
  • 載台規格:X= 70 mm / Y= 50 mm / 工作距離 = 3~41 mm
  • 傾斜角度:-5°~70°
  • 旋轉角度:連續360°

 

  • Electron gun :Schottky thermal emission
  • Accelerating Voltage:0.5 -30 kV
  • Probe Current:10-12~2×10-7 A
  • Vacuum mode:High vacuum (< 2.8×10-4Pa)
  • Image resolution:1.2 nm(~650,000x)@ 30 kV;3.0nm@1kV
  • Stage optics:X= 70 mm / Y= 50 mm / Z= 3~41 mm
  • Tilting:-5°~70°
  • Rotation : 360° continuous

 

 

濺鍍機 Sputter

P1110641鉑/白金 Platinum (≒0.2 atm)
碳 Carbon (0.04~0.08 atm)